คลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่มีความยาวคลื่นระหว่างรังสีอัลตราไวโอเลตและรังสีแกมมา รังสีเอกซ์เกิดขึ้นจากการยิงอิเล็กตรอน พลังงานจลน์สูงเข้าชนอะตอมของเป้าโลหะ แล้วอิเล็กตรอนจะมีความเร็วลดลงและคายพลังงานในรูปรังสีเอกซ์ การเกิดรังสีเอกซ์อีกวิธีหนึ่ง คือ อิเล็กตรอนพลังงานจลน์สูงเข้าชนอิเล็กตรอนในอะตอมหลุดออกมา อิเล็กตรอนที่อยู่ในวงโคจรถัดออกมามีพลังงานสูงกว่า จะเข้าไปแทนที่พร้อมกับปล่อยพลังงานออกมาในรูปรังสีเอกซ์